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关于我们质量为本、客户为根、勇于拼搏、务实创新
IPS爱谱斯于1961年在德国成立,是德国半导体恒电位仪的制造商。经过短短五年的发展,IPS爱谱斯就以恒电位/电流仪的制造商为世人所知。除了开发电化学设备,我们还提供燃料电池测试系统,旋转环盘电极、氢标准电极,气体扩散电极,电阻电压计、零欧电流计、电解池、法拉第屏蔽箱等与电化学相关的设备及配件,并且为客户提供完整的电化学解决方案,针对特殊应用提供量身定制的非标设备!

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  • 2025

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  • 发布时间:2025-08-12
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  • 发布时间:2025-08-11
    原子沉积系统ALD的衬底温度控制策略

    真空腔体是原子沉积系统ALD的核心部件,其设计直接影响薄膜生长的均匀性、前驱体利用率及设备稳定性,需兼顾真空性能、温度兼容性与工艺适配性。​材质选择需平衡耐腐蚀性与真空特性。主体材质优先选用316L不锈钢,其含钼量达2-3%,可抵御多数金属有机前驱体(如三甲基铝)的腐蚀,且内壁经电解抛光(Ra≤0.02μm)后能减少气体吸附与残留。对于高温ALD工艺(600℃),腔体顶部可采用石英材质窗口,既满足红外加热穿透需求,又具备优异的热稳定性。腔体法兰需采用无氧铜材质,通过冷加工硬化...

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