微区电化学扫描显微镜由以下基本部分组成：产生电子束的柱形镜简，电子束与样品发生相互作用的样品室，检测样品室所产生信号的探头，以及将信号变因像的数据处理与显示系统。
微区电化学扫描显微镜的保养方法：
1.保持仪器操作台面整洁，不允许身体倚靠，冻水机等装置不可放置重物
2.开机时一定要先开水冷系统,并要检查冷却水的温度，关机至少15分钟后才能关闭冷却水
3.进样品时,检查Z轴和T轴的位置.缓缓关闭样品室,确保进样仓门*关闭,才可点击EVAC按钮抽气
4.移动样品，通过配合移动Stage Driver 将载物台向X轴和Y轴方向移动，从而移动样品，并保证小于较大允许值
5.倾斜样品，-10°~+45°，要十分当心，不要撞坏探头。要根据样品台和样品状况选择倾斜角度，注样品可倾斜的较大安全角度必须小于允许值，防止样品撞伤物镜极靴
6.用BSE探头时不可倾斜样品台
7.样品只有在加速电压关闭的情况下才可取出，不作样品扫描时要关闭高压
8.放气时HT必须处于关闭状态，必须等待120秒后才可轻轻拉开样品交换仓的门
9.更换钨灯丝时， 等待两分钟时间，然后打开电子枪，用专门的器具取出钨灯丝连同钨灯丝罩，以免被烫伤
10.电镜需要手动调节的部分主要有光阑,象散，工作距离调节的旋钮等，其他部件不允许调整
11.每周加两到三次液氮，两次间隔不超过四天。
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