切记不可大意！安全使用原子沉积系统

更新时间：2021-06-24 点击次数：1125

　　原子沉积系统是一款紧凑型独立的PC计算机控制的ALD原子层沉积系统，带Labview软件，具备四级密码控制的用户授权保护功能。系统为全自动的安全互锁设计，并提供了强大的灵活性，

　　原子沉积系统的操作步骤：

　　1、开机：开普氮(压力0.4-0.6MPa)、高纯氮气瓶(压力小于0.1MPa)；开总电源；开水冷机。

　　2、放样品：点击“进气”，待压强升至1个大气压后，打开腔体，放入样品。点击“设置”，将流量重新设置为：20。

　　3、开机械泵：先打开机械泵电源开关，然后点击“泵阀开”。4、设置温度参数：点击“设置”，开始设置温度参数，例如1：200度；2：230度；11(水)：50度，或者11(臭氧)：0度；10(Al源)：0度。循环次数根据需要设置。流量：20。点击“确定”，开始加热，加热时间不少于45min。

　　5、排水：加热45min后，若之前用过水，而本次实验用臭氧，则需排水。点击“模式1”，将前驱体4的脉冲时间设为：1000ms，清洗时间设为：5s，关闭小窗，点击“开始”，n个循环后，点击“结束”，排水完成。

　　6、设置沉积模式参数：点击“模式1”或者“模式2”，设置前驱体和水(或者臭氧)的脉冲时间和清洗时间。以沉积氧化铝为例，前驱体3为铝源，前驱体4为水(或者臭氧)，其他为空置，设置前驱体3的脉冲时间为：60ms，清洗时间设为：10s；设置前驱体4的脉冲时间为：50ms，清洗时间设为：30s。

　　7、设置载气流量和循环次数：点击“设置”，流量设置为：20；循环次数根据所需样品厚度而定。

　　8、开始实验：打开相应前驱体的手动阀，如果使用臭氧作为反应源，气压，开腔体，取出样品。

　　10、抽真空：点击“泵阀开”，气压下降后，点击“进气”，关闭高纯氮的减压阀，流量下降至1位数时，点“设置”，将将流量重新设置为：0。

　　(若下次实验换另外的源，则需排空，具体操作：点击“泵阀开”，气压下降后，点击“进气”，点击“模式1”，将前驱体3的脉冲时间设为：500ms，清洗时间设为：5s，将前驱体4的脉冲时间设为：1000ms，清洗时间设为：10s，关闭小窗，点击“开始”，100个循环后，点击“结束”，排空完成。)

　　11、关仪器：点击“设置”，将1、2和11(水)的温度设为：0，将所用源的温度设为：0。点击“泵阀关”，关机械泵，关总电源，关普氮、关水冷。